| 直徑Diameter(mm) | 12 Inch(300±0.5mm) |
| 厚度Thickness (µ m) | ≧650 |
| 邊緣模式Wafer Edge | Notch |
| 表面處理Surface Treatment | 正面拋光Front side polished/背面拋光polished |
| 金屬厚度Metallization Thinkness | 7000A+/-10% |
| Bow/WARP (µ m) | ≦50um |
| TTV (µ m) | ≦50um |
| 包裝package | 25pcs/cassette |
https://tougu.tw66.com.tw/web/NMD?postId=1184354東電研糾偏導正裝置
超強功能超音波檢知電眼，一流的解像度與精度，抗水氣及電磁波干擾，高粉塵高光害環境亦可免疫。無刷電動型推動器，高效率超靜音，CE認證
